Ｘ線顕微鏡チーム
研究概要
Ｘ線顕微鏡チームリーダー
上杉 健太朗
Ｘ線顕微鏡チームでは、結像あるいは走査型Ｘ線顕微鏡の開発・Ｘ線位相計測・高分解能あるいは高速度ＣＴ装置の開発などを行っています。要素技術としては、Ｘ線用光学素子・画像検出器・高精度ステージ群などが挙げられます。
研究・開発成果
- 結像型Ｘ線顕微ＣＴでは、空間分解能150nmを達成しています。
- 高速度ＣＴ装置は最速の測定時間はおよそ1-2secです。
- 回折格子を利用した位相計測では、濃度分解能2mg/cm3・空間分解能20um程度を達成しています。
- Ｘ線顕微鏡光学系を利用した位相計測では、濃度分解能40mg/cm3・空間分解能150nmを達成しています。
メンバー
- 主席研究員 上杉 健太朗（チームリーダー）
- 主幹研究員 寺田 靖子
- 主幹研究員 竹内 晃久
- 主幹研究員 上椙 真之
- 主幹研究員 星野 真人
- 研究員 長谷 栄治
- 特別嘱託職員 梅谷 啓二