今井 康彦（Imai Yasuhiko）

プロフィール
回折・散乱推進室 多目的回折散乱チーム

主幹研究員（多目的回折散乱チームリーダー）

メール： imai＠spring8.or.jp


　2008年より、サブミクロンに集光した放射光Ｘ線を利用して、半導体デバイスなどの局所構造を調べることの出来る、高分解能マイクロ回折装置の高度化と、この装置を使った実験の支援をBL13XUにおいて行ってきました。主な高度化研究には、屈折レンズによる高エネルギーＸ線（30 keV）マイクロビームの実用化（科研費 挑戦的萌芽研究（平成24～26年度）研究分担者）や、ナノスケールＸ線回折マッピング法の開発（科研費 基盤研究（C）（平成26〜28年度）研究体表者）、精密試料アラインメントによるＸ線ナノビーム回折マルチスケールマッピング法の開発（JASRI GIGNOプロジェクト研究課題（平成27年1月〜平成28年3月）研究代表者）があります。また、深さ分解Ｘ線マイクロ回折や、３次元逆格子マップ測定、不揮発性メモリのスイッチ過程における構造変化の時間分解測定、などにも興味をもっています。
近年は、多目的回折散乱チームメンバーが担当しているビームラインBL02B1, BL08W, BL13XU, (BL28B2,) BL40XU EH2 の維持管理・高性能化・利用者支援のマネージメントに関わっています。また、市販のＸ線2次元検出器の最適運用のため、調査・研究も進めています。


併任先

  • ビームライン技術推進室 ビームライン制御チーム
  • 検出器利用支援ワーキンググループ リーダー
　

外部機関所属先

  • 理化学研究所 放射光科学研究センター 先端放射光施設開発研究部門　制御情報・データ創出基盤グループ　次世代検出器開発チーム
  • 大阪大学大学院　基礎工学研究科

キーワード

  • マイクロ回折
  • ナノビームＸ線回折
  • 2次元検出器
研究成果

研究論文

  • "Characterization of Domain Structure in One-Dimensional SrRuO3 Nanostructure using Synchrotron X-Ray Microdiffraction", Y. Imai, S. Kimura, D. Kan, Y. Shimakawa, AIP Conf. Proc., submitted.
  • "Negligible substrate clamping effect on piezoelectric response in (111)-epitaxial tetragonal Pb(Zr, Ti)O3 films", T. Yamada, J. Yasumoto, D. Ito, O. Sakata, Y. Imai, T. Kiguchi, T. Shiraishi, T. Shimizu, H. Funakubo, M. Yoshino, and T. Nagasaki, J. Appl. Phys. 118, 072012 (2015).
  • "Characterization of locally strained Ge1− xSnx /Ge fine structures by synchrotron X- ray microdiffraction", S. Ike, O. Nakatsuka, Y. Moriyama, M. Kurosawa, N. Taoka, Y. Imai, S. Kimura, T. Tezuka, and S. Zaima, Appl. Phys. Lett. 106, 182104 (2015).
  • "Crystalline property analysis of semipolar (20–21) GaN on (22–43) patterned sapphire substrate by X-ray microdiffraction and transmission electron microscopy", T. Arauchi, S. Takeuchi, Y. Hashimoto, Y. Nakamura, K. Yamane, N. Okada, Y. Imai, S. Kimura, K. Tadatomo, A. Sakai, Physica Stat. Sol (b) 252, 1149-1154 (2015).
  • "57Fe polarization-dependent synchrotron Mössbauer spectroscopy using a diamond phase plate and an iron borate nuclear Bragg monochromator", T. Mitsui, Y. Imai, R. Masuda, M. Seto and K. Mibu, J. Synchrotron Rad. 22, 427-435 (2015).
  • "Controlling charge-density-wave states in nano-thick crystals of 1T-TaS2", M. Yoshida, Y. Zhang, J. Ye, R. Suzuki, Y. Imai, S. Kimura, A. Fujiwara, Y. Iwasa, Scientific Reports 4, 7302(5-pages), (2014).
  • "Deteriorated Device Characteristics in 3D-LSI Caused by Distorted Silicon Lattice", M. Mariappan, Y. Imai, S. Kimura, T. Fukushima, Bea Ji-Choel, H. Kino, Lee Kang-Wook, T. Tanaka, M. Koyanagi, IEEE Trans. Electron Devices 61, 540 (2014).
  • "High-resolution X-ray microdiffraction from a locally strained SOI with a width of 150 nm", Y. Imai, S. Kimura, D. Kosemura, A.Ogura, J. Phys.: Conf. Ser. 502, 012026(4), (2014).
  • "Formation and characterization of locally strained Ge1-xSnx/Ge microstructures", S. Ike, Y. Moriyama, M. Kurosawa, N. Taoka, O. Nakatsuka, Y. Imai, S. Kimura, T. Tezuka, S. Zaima, Thin Solid Films 557, 164-168, (2014).
  • "Cross-sectional X-ray microdiffraction study of a thick AlN film grown on a trench-patterned AlN/α-Al2O3 template", D. T. Khan, S. Takeuchi, J. Kikkawa, Y. Nakamura, H. Miyake, K. Hiramatsu, Y. Imai, S. Kimura, O. Sakata, A. Sakai, J. Cryst. Growth 381, 37-42, (2013).
  • "Microarea Strain Analysis in InGaN/GaN Multiple Quantum Wells on m-Plane Using High-Resolution Microbeam X-ray Diffraction", S. Yoshida, T.Yokogawa, Y. Imai, and S. Kimura, Jpn. J. Appl. Phys. 52, 071001(4), (2013).
  • "X-Ray N-Beam Takagi-Taupin Dynamical Theory and N-Beam Pinhole Topographs Experimentally Obtained and Computer-Simulated", K. Okitsu, Y. Imai, Y. Yoda, “Recent Advances in Crystallography”, Edited by Jason B. Benedict, ISBN 978-953-51-0754-5, Published: September 19, 2012 under CC BY 3.0 license, in subject Physical Sciences, Engineering and Technology, 67-86, (2012).
  • "Upgrade of the nuclear resonant scattering beamline, BL09XU in SPring-8", Y. Yoda, Y. Imai, H. Kobayashi, S. Goto, K. Takeshita, M. Seto, Hyperfine Interactions 206, 379-386, (2012).
  • "X-ray microdiffraction investigation of crystallinity and strain relaxation in Ge thin lines selectively grown on Si(001) substrates", K. Ebihara, J. Kikkawa, Y. Nakamura, A. Sakai, G. Wang, M. Caymax, Y. Imai, S. Kimura, O. Sakata, Solid-State Electronics 60, 26-30, (2011).
  • "Structural change during the formation of directly bonded silicon substrates", T. Kato, T. Ueda, Y. Ohara, J. Kikkawa, Y. Nakamura, A. Sakai, O. Nakatsuka, S. Zaima, E. Toyoda, K. Izunome, Y. Imai, S. Kimura, O. Sakata, Key Eng. Mater. 470, 158-163, (2011).
  • "Evidence of lattice tilt and slip in m-plane InGaN/GaN heterostructure", S. Yoshida, T. Yokogawa, Y. Imai, S. Kimura, O. Sakata, Appl. Phys. Lett. 99, 131909 (3 pages), (2011).
  • "Characterization of strain relaxation process during Ge condensation by synchrotron microbeam X-ray diffraction", T. Shimura, T. Inoue, D. Shimokawa, T. Hosoi, Y. Imai, O. Sakata, S. Kimura, H. Watanabe, Jpn. J. Appl. Phys. 50, 010112 (6 pages), (2011).
  • "Nanometer-scale characterization technique for Si nanoelectric materials using synchrotron radiation microdiffraction", S. Kimura, Y. Imai, O. Sakata, A. Sakai, Key Eng. Mater. 470, 104-109, (2011).
  • "Polarization-dependent X-ray six-beam pinhole topographs for a channel-cut silicon crystal", K. Okitsu, Y. Yoda, Y. Imai and Y. Ueji, Acta Cryst. A67, 550-556, (2011).
  • "High-angular-resolution microbeam X-ray diffraction with CCD detector", Y. Imai, S. Kimura, O. Sakata, A. Sakai, AIP Conference Proceedings CP1221, 30-32, (2010).
  • "X-ray microdiffraction study on crystallinity of micron-sized Ge films selectively grown on Si(001) substrates", K. Ebihara, S. Harada, J. Kikkawa, Y. Nakamura, A. Sakai, G. Wang, M. Caymax, Y. Imai, S. Kimura, O. Sakata, ECS Transaction 33, 887-892, (2010).
  • "Structural change of direct silicon bonding substrates by interfacial oxide out-diffusion annealing", T. Kato, Y. Nakamura, J. Kikkawa, A. Sakai, E. Toyoda, K. Izunome, O. Nakatsuka, S. Zaima, Y. Imai, S. Kimura, O. Sakata, Thin Solid Films 518, S147-S150, (2010).
  • "In Situ and Real-Time Monitoring of Oxide Growth in a Few Monolayers at Surfaces of Platinum Nanoparticles in Aqueous Media", H. Imai, K. Izumi, M. Matsumoto, Y. Kubo, K. Kato and Y. Imai, J. Am. Chem. Soc. 131(17), 6293–6300, (2009).
  • "X-ray Optics with Small Vertical Divergence and Horizontal Focusing For an X-ray Standing-wave Measurement", O. Sakata, T. Kudo, H. Yamanaka, and Y. Imai, Transactions of the Materials Research 34(4), 601-604, (2009).

国際会議発表

  • 口頭発表・国際会議 67th Annual Conference on Applications of X-ray Analysis (Denver X-ray Conference)・2018年8月6〜10日・ウェストミンスター（アメリカ）・ タイトル: Depth-resolved monochromatic nanobeam X-ray diffraction for evaluation of local strain in single crystalline samples using differential aperture method
  • 口頭発表・国際会議 International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2018)・2018年6月10〜15日・台北（台湾）・ タイトル: Current Status of Nanobeam X-ray Diffraction Station at SPring-8
  • ポスター発表・国際会議 24th International congress on X-ray optics and microscopy (ICXOM24)・2017年9月25〜29日・トリエステ（イタリア）・ タイトル: Automatic sample alignment system for nano-beam X-ray diffraction
  • ポスター発表・国際会議The 13th Biennial Conference on High Resolution X-Ray Diffraction and Imaging (XTOP 2016)・2016年9月4〜8日・ブルノ（チェコ共和国）・ タイトル: An automatic sample positioning system for nano-beam X-ray diffraction multi-scale mapping
  • ポスター発表・国際会議 International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2015)・2015年7月6〜10日・ニューヨーク（アメリカ）・ タイトル: Characterization of Domain Structure in One-Dimensional SrRuO3 Nanostructure using Synchrotron X-Ray Microdiffraction
  • 招待講演・国際ワークショップ Sapphire Ultra Optics for Synchrotron Radiation・2014年5月28〜30日・モスクワ（ロシア）・ タイトル: High-energy-resolution monochromators at SPring-8
  • ポスター発表・国際会議Lights and particle beam for materials science (LPBMS2013)・2013年8月28〜31日・つくば・ タイトル: High-resolution X-ray microdiffraction from a locally strained SOI with a width of 150 nm
  • 口頭発表・国際会議The 11th Biennial Conference on High Resolution X-Ray Diffraction and Imaging (XTOP 2012)・2012年9月15〜20日・サンクトペテルブルグ（ロシア）・ タイトル: Microdiffraction from 50-nm-region in a strained silicon
  • ポスター発表・国際会議The 10th Biennial Conference on High Resolution X-Ray Diffraction and Imaging (XTOP 2010)・2010年9月20〜23日・ウォーウィック（イギリス）・ タイトル: Strain distribution measurement of a locally strained Si using X-ray microdiffraction technique
  • 口頭発表・国際会議International symposium on technology evolution for silicon nano electronics・2010年6月3〜5日・東京工業大学・ タイトル: Nanometer-scale Characterization Technique for Si Nanoelectric Materials using Synchrotron Radiation Microdiffraction
  • ポスター発表・国際会議International congress on X-ray optics and microscopy (ICXOM20)・2009年9月16〜19日・カールスルーエ（ドイツ）・ タイトル: High-angular-resolution microbeam X-ray diffraction with CCD detector

国内学会発表

  • ポスター発表・放射光学会年会・2018年1月8〜10日・つくば国際会議場・ タイトル：白金細線を回折ビームプロファイラーとして用いた深さ分解ナノビームＸ線回折法の開発
  • ポスター発表・放射光学会年会・2017年1月7〜9日・神戸芸術センター・ タイトル：金細線パターンを用いたナノビームＸ線回折のための試料位置でのゴニオメータ偏芯量評価
  • ポスター発表・放射光学会年会・2016年1月9〜11日・柏の葉カンファレンスセンター・ タイトル：Ｘ線ナノビーム回折のための試料精密アラインメント技術開発
  • ポスター発表・放射光学会年会・2014年1月11〜13日・広島国際会議場・ タイトル：マイクロＸ線回折におるローカル歪みSOIの評価
  • ポスター発表・放射光学会年会・2013年1月12〜14日・名古屋大学・ タイトル：高角度分解能マイクロＸ線回折装置の現状
  • 口頭発表・放射光学会年会・2012年1月6〜9日・鳥栖市民文化会館・ タイトル：マイクロＸ線回折におるローカル歪みSiの歪み分布測定
  • ポスター発表・放射光学会年会・2011年1月7〜10日・つくば国際会議場・ タイトル：高角度分解能マイクロＸ線回折装置の現状
  • ポスター発表・放射光学会年会・2010年1月6〜9日・イーグレひめじ・ タイトル：CCD型検出器を用いた高角度分解能マイクロＸ線回折計
  • ポスター発表・放射光学会年会・2009年1月9〜12日・東京大学本郷キャンパス・ タイトル：高分解能マイクロＸ線回折装置の現状と応用研究

競争的資金

  • NEDO 省エネ製品開発の加速化に向けた複合計測分析システム研究開発事業（2018年から2022年）（P18009）
  • 新学術領域研究 特異構造の結晶科学（平成28〜平成32年度）「結晶特異構造およびその挙動のマルチスケール構造解析評価」（No.16H0642311:58978）代表：酒井　朗　研究分担者
  • 科学研究費助成事業 基盤研究（Ｂ）（平成27～平成30年度）「異常散乱放射光マイクロ回折による混晶薄膜局所領域組成および歪みの独立決定法の開発」(No. 16H03913) 代表：木村　滋　研究分担者
  • JASRI GIGNOプロジェクト研究課題（平成27年1月〜28年3月）「精密試料アラインメントによるＸ線ナノビーム回折マルチスケールマッピング法の開発」研究代表者
  • 科学研究費助成事業 基盤研究（Ｃ）（平成26〜28年度）「ナノスケールＸ線回折マッピング法の開発」(No. 26420292)　研究代表者
  • 科学研究費助成事業 挑戦的萌芽研究（平成25～平成26年度）「石英製屈折レンズを用いる放射光マイクロ回折によるInGaN層のピンポイント評価」(No. 25600151) 代表：木村　滋　研究分担者
  • 特定領域研究「シリコンナノエレクトロニクスの新展開―ポストスケーリングテクノロジー―」（平成18〜21年度）代表：財満　鎭明　研究分担者（平成20年6月〜平成21年3月）
  • 戦略的創造研究推進事業 CREST 研究領域「物質現象の解明と応用に資する新しい 計測・分析基盤技術」 「物質科学のための放射光核共鳴散乱法 の研究」（平成17年10月平成21年3月）代表：瀬戸　誠　研究分担者（平成17 年10月〜平成20年3月）

ページのトップへ戻る